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用于电子显微镜的任意电子剂量波形

US17688339 2022-3-7 发明授权

2022-10-18

一种器件可以包括电子源，检测器和偏转器。电子源可以被导向样品区域。检测器可接收电子信号或电子感应信号。偏转器可以位于电子源和样品之间。偏转器可以根据具有连续可变时间分布的电子剂量波形来调制指向样品区域的电子源的强度。