用于高性能电子显微镜的方法
 
JP2022535414  2020-8-10  发明申请

2022-10-17
 
  提供了一种用于校正包括低温电子显微镜图像的电子显微镜图像中的一个或多个图像像差的方法。 所述方法包括获得具有一个或多个已知性质的内部参考晶格样品的多个电子显微镜(EM)图像,所述多个电子显微镜(EM)图像针对多个光学条件和针对多个调整后的束图像偏移。 该方法可以包括,在许多特征中,确定像差校正函数,该像差校正函数使用核典型相关分析(KCCA)来预测成像区域中的所有点的像差。
 
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