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产业专利数据

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半导体电子探测装置及扫描电子显微镜

CN202210612876.6 2022-5-31 发明申请

2022-10-14

本发明公开了一种半导体电子探测装置及扫描电子显微镜，包括相互独立的两个以上的半导体探测单元，所述两个以上的半导体探测单元具有相同的探测面积，各个所述半导体探测单元的探测面在同一圆周内依次交替均匀分布。本发明提供的技术方案能够通过分时采集不同半导体探测单元接收到的电子信号，降低信号驻留时间对采样频率的制约，提高扫描电子显微镜的极限采样通量，实现采样效率的倍增。