| 用于多点扫描显微镜的装置和方法 |
| DE102021203620 2021-4-13 发明申请 |
| 2022-10-13 |
| 本发明涉及一种用于具有分段分色器的多点扫描显微镜的装置和方法， 其中用于选择波长范围和/或偏振方向的分束器在至少两个滤波场中横向于分束器的表面法线分段。 因此，各个部分照明光束在照明光束路径中被引导进入待检查样品上的光斑或进入待检查样品中，并在待检查样品上被扫描。 检测灯， 在用单独的照明部分光束照射后，照射检测部分光束中的样品， 针对检测单元并由其检测，其中照明部分光束和/或检测部分光束根据波长范围和/或偏振方向借助于横向分段到表面法向分束器来选择。 |
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