| 用于多点扫描显微镜的装置和方法 |
| US17719047 2022-4-12 发明申请 |
| 2022-10-13 |
| 本发明涉及一种用于使用分段式分色器的多点扫描显微镜的装置和方法，其中所述分束器相对于所述分束器的表面法线横向分段为至少两个滤光场，用于选择波长范围和/或偏振方向。 因此，每个单独的部分照明光束在照明光束路径中被引导到在其上或在其上被检查和扫描的简单的光点中。 检测灯， 样品在使用单独的部分照明光束照射后在部分检测装置中发射， 被引导到检测单元上并由此被检测，其中通过横向于表面法线分段的分束器，根据波长范围和/或偏振方向分别选择部分照明光束和/或部分检测光束。 |
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