加热发叉结构、热场发射电子源及电子显微镜
 
CN202120348611.0  2021-2-5  实用新型

2021-9-21
 
  本实用新型提供了一种加热发叉结构、热场发射电子源及电子显微镜,涉及电子显微镜技术领域,解决了加热发叉及位于其端部的发射针尖易与外界振源发生共振,影响成像的技术问题;该加热发叉结构包括具有第一加热部和第二加热部的加热发叉本体,第一加热部和第二加热部连接形成V型结构,V型结构的上部用以与接线柱连接,其下部为用以与发射针尖连接的尖端;且第一加热部和第二加热部均呈条带状;本实用新型加热发叉本体中的第一加热部和第二加热部均为条带状,在与接线柱连接时结构更为稳定,通过将加热发叉的形状由丝状改进为条带状,提高了加热发叉本体的固有频率,防止加热发叉本体与外界振动源产生共振,起到抗振的效果。
 
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