| 一种扫描电镜样品台装置 |
| CN202120508570.7 2021-3-10 实用新型 |
| 2021-9-21 |
| 本实用新型公开了一种扫描电镜样品台装置,包括内载电机控制装置、样品载台悬臂、样品座、旋紧螺纹、升降样品座和螺纹柱,升降样品座为阶梯结构,升降样品座左侧较低处与内载电机控制装置中的电机座连接,升降样品座右侧较高处设有螺纹孔,且升降样品座右侧较高处的螺纹孔内设有相对应的螺纹柱,螺纹柱与旋紧螺纹固定连接,旋紧螺纹上端设有样品座,样品座通过外侧耳板与样品载台悬臂连接,通过旋转旋紧螺纹调整螺纹柱的旋进旋出,以此改变样品台的高度,再加上通过内载电机控制装置带动样品载台悬臂进行旋转,以此使得此样品台不仅可以改变观察焦距,也可实现对样品个角度端面形貌定位观察研究,为人们提供便利。 |