| 扫描光学系统,扫描显微镜和扫描型共焦显微镜 |
| JP2020539184 2018-8-27 发明申请 |
| 2021-8-26 |
| (SL)是扫描光学系统, 第1透镜组(G1)和第1透镜组具有负的光焦度, 第一透镜组具有正屈折力(G2)及2, 第一透镜组3(G3)具有负屈折力, 第一透镜组(G1)1, 2(G2)第一透镜组, 至少两个透镜的透镜组3(G3)可以包括在第一和第二透镜1中, 具有满足以下条件式的正折射能力, 和d1]80第一透镜组(G1)1, 2(G2)第一透镜组,透镜组3(G3)中的至少两个透镜可以包括在第一和第二透镜1中,具有负折射能力满足以下条件表达式,Nd2[50]满足以下条件表达式。 HMA x大于等于18.0mm: 然而, HMA X: 主光束通过后焦物镜, 离主光束的光轴的最大距离定义了最大图像高度Nd1 : 具有阿贝数的正折射透镜是基准线D, d线的折射率nd[1], f[nf1]和折射率线, 当折射率为CnC1时, 由式(Nd1-a1)/(Nf1-nC1)vd1=nd2 : 透镜的负屈光力是作为基准的阿贝数d线,d线nd2,fnf2和折射率线的折射率,当cnc2的折射率由公式(nd2e1)/(nf2-nc2)vd2=定义时 |