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扫描探针显微镜及扫描探针显微镜中的光轴调整方法
US17133847 2020-12-24 发明申请
2021-8-26
本发明的目的在于节省调整检测单元的位置的时间。 在检测器的位置调整过程中, 控制装置使检测器相对于分割光电二极管的分界线在检测器移动的平面上倾斜地移动,并且使检测器移动,使得激光束的光斑的重心和光接收中心的位置与检测器的光斑的重心和光接收中心的位置一致。 表面响应于激光束的至少一部分入射到光接收表面上而重合。
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