| 扫描电镜的自动对焦方法及图像生成装置 |
| WOJP22012974 2022-3-22 发明申请 |
| 2022-10-6 |
| 本发明涉及用于扫描电子显微镜的自动聚焦技术，更具体地，涉及用于缩短自动聚焦所需时间的技术。 本发明提供一种扫描电子显微镜(1)，一边使扫描电子显微镜(1)的焦点位置连续变化，一边反复生成在工件的表面形成的图案的图像， 创建图案的多个移动平均图像(MA1)～(MA7)，针对多个移动平均图像(MA1)～(MA7)中的每一个计算多个锐度等级，并且基于多个锐度等级确定最佳聚焦位置。 |
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