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校正多束扫描电子显微镜中的一阶像散和一阶失真的方法

EP22163969 2022-3-24 发明申请

2022-10-5

用于校正散光和线性失真的示例性多束扫描电子显微镜(MB-SEM)至少包括：电子源，其被耦合以提供电子束；一种孔板，包括孔阵列，所述孔板被布置成从电子束形成电子束阵列，以及电子柱，包括多个透镜和第一和第二搅拌器，所述电子柱被耦合以将所述电子束阵列导向样品，其中所述第一和第二搅拌器被布置和激励以校正散光和线性失真。