| 扫描电镜的真空系统及其控制方法 |
| CN202210772944.5 2022-6-30 发明申请 |
| 2022-10-4 |
| 本发明公开了一种扫描电镜的真空系统及其控制方法，该真空系统包括：样品室，样品室连接有气源控制件，气源控制件向样品室内供气；物镜气隙夹层，物镜气隙夹层连通样品室；电子枪，电子枪连通物镜气隙夹层，并用于发射电子束；分流式分子泵，分流式分子泵具有主抽气口和分流抽气口，主抽气口连接电子枪，分流抽气口连接物镜气隙夹层；机械泵，机械泵的泵口连通有第一管道，第一管道连通样品室，第一管道上设有第一真空隔离阀，机械泵常保持在开启状态。本发明的扫描电镜的真空系统能耗较低，成本低，同时样品室内的真空度可以维持在一定范围内且真空度变换迅速稳定。 |
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