| 显微镜系统 |
| US17693047 2022-3-11 发明申请 |
| 2022-9-29 |
| 关于显微镜系统，提供了一种能够适当地实现样品表面上的聚焦的技术。 该显微镜系统包括照射光学系统(激光光源101等)，该照射光学系统用来自倾斜方向的光照射载物台104上的样品3的表面， 观察光学系统(照相机112等)，其形成来自样品3表面的散射光的图像， 聚焦机构(压电台106等)，其改变相对于样品3的表面的聚焦高度位置；以及计算机系统100，其从观察光学系统获取图像。 关于样品3， 计算机系统获取处于第一聚焦状态的第一图像和处于第二聚焦状态的第二图像， 其中第一图像和第二图像具有不同的焦点高度， 计算第一图像中的第一斑点图案的位置和第二图像中的第二斑点图案的位置之间的变化量， 基于倾斜方向上的入射角和斑点图案的位置变化量计算样品3的高度变化量， 并且通过使用样品高度的变化量来调节焦点的高度位置，以便聚焦在样品3的表面上。 |
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