| 使用扫描电子显微镜测量光盘的方法 |
| US17463499 2021-8-31 发明申请 |
| 2022-9-22 |
| 一种测量临界尺寸(CD)的方法，包括：在衬底中形成多个图案； 生成第1至第n图像， 其中n是大于1的自然数， 对于衬底中的第1至第n区域， 分别 其中第一至第N区域彼此不重叠， 其中所述第一至第N区域中的每一个包括所述多个图案中的至少一些，为所述第一至第N图像创建合并图像，以及使用所述合并图像从所述多个图案测量测量对象的CD。 合并图像具有比第一至第N图像中的每一个更高的分辨率。 |
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