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在图案化衬底上执行结构化照明显微镜

WOUS22071164 2022-3-15 发明申请

2022-9-22

一种结构化照明显微镜(SIM)系统，包括：光源；一个光结构部件，用于从光源提供具有SIM图案的光，用于在具有衬底图案的衬底上进行样品的照明，其中SIM图案的间距基于衬底图案的特性；以及图像传感器，用于检测所述样品响应于所述照明而产生的发射。