| 机械对中装置及电子显微镜 |
| CN202210633165.7 2022-6-6 发明申请 |
| 2022-9-20 |
| 本发明公开了一种机械对中装置及使用该装置的电子显微镜，该装置包括：激光发射器，设置在电子显微镜的样品室内向电子显微镜的电子源发射激光束；半反半透镜，设置在电子显微镜的镜筒内，位于电子显微镜的电子源和光阑之间，且位于激光发射器所发射的激光束的照射路径上，半反半透镜的反射面向下倾斜设置；图像传感器，安装在镜筒上，接收所述半反半透镜所反射的激光束。本发明采用与电子束重合的激光束作为电子显微镜机械预对中的参照物，通过观察激光束斑来调节光阑的相对位置以及通过观察激光束在电子源枪尖的反射情况来调节电子源的相对位置，在无需通高压电和维持真空的前提下，安全、快捷地实现电子显微镜的快速机械对中。 |
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