| 环状电子探测器及扫描电子显微镜 |
| CN202221051117.9 2022-5-5 实用新型 |
| 2022-9-20 |
| 本实用新型公开了一种环状电子探测器，包括环状栅网、环状闪烁体和光导体；所述环状栅网包括栅网主体和圆形框架，所述栅网主体设置有栅网中心孔，所述栅网主体的边缘固定于所述圆形框架；所述环状闪烁体位于所述环状栅网的上部，与所述圆形框架连接，所述环状闪烁体包括闪烁体主体和开设在所述闪烁体主体上的闪烁体中心孔；所述光导体包括环状光导部和从所述环状光导部向一侧延伸的延伸部，所述环状光导部上开设有光导体中心孔；所述光导体中心孔与所述闪烁体中心孔以及所述栅网中心孔上下贯通。本实用新型提供的环状电子探测器能够对探测更大范围的信号电子，并且可以将二次电子信号剥离，实现对背散射电子信号的单独探测。 |
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