| 扫描探针显微镜，信息处理设备和程序 |
| JP2021033911 2021-3-3 发明申请 |
| 2022-9-15 |
| 本发明提供一种能够抑制表面图像的取得时间的扫描探针显微镜。 溶液： 扫描探针显微镜沿观察对象表面的观察范围扫描探针， 并且基于在扫描期间探针与每个位置处的表面之间的相互作用，针对观察范围获得由x方向上的m个点和y方向上的n个点的像素组成的表面图像。 扫描探针显微镜在短时间内扫描观察范围，与在该观察范围中对应于x方向上的m点和y方向上的n点像素的部分位置被减薄和扫描的情况相比， 从而在观察范围内扫描对应于M点在X方向上的所有像素和N点在Y方向上的所有像素的位置。 扫描探针显微镜包括信息处理装置，用于基于观察数据执行内插处理以恢复丢失的像素，其中相对于观察范围，x方向上的m个点和y方向上的n个点的像素的一部分丢失。 “选择图”图6 |
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