| 电子显微镜,电子-光子相关性测定装置及电子-光子相关性测定方法 |
| WOJP22009826 2022-3-7 发明申请 |
| 2022-9-15 |
| 本发明的实施方式的电子显微镜具备:向试样照射电子的电子枪; 电子检测器,用于检测照射到样品上的电子; 光子检测器,用于检测当电子照射到样品上时从样品发射的光子; 以及, 计算单元, 基于电子检测器检测电子的时间和光子检测器检测光子的时间, 对于每个检测到的光子,计算电子照射到样品上的时间和光子从样品发射出去的时间之间的时间差,并计算表示时间差分布的电子-光子时间相关性。 |