| 一种可实现光束偏移补偿的原子力显微镜测头 |
| CN202210662814.6 2022-6-13 发明申请 |
| 2022-9-9 |
| 本发明公开了一种可实现光束偏移补偿的原子力显微镜测头，该测头包含扫描模块、光杠杆检测模块、光学显微镜模块、悬臂梁探针，扫描模块由一个三维平板扫描机构和一个Z向扫描器组成，光杠杆检测模块将激光分成两束偏振光，一束用于检测扫描机构的位移，另一束用于检测悬臂梁的形变，将两束光的光斑位置相减可得到无偏移误差的悬臂梁形变量，有利于提高大范围扫描时的测量准确性，光学显微镜模块与光杠杆检测模块相互独立，互不干扰，并且光杠杆检测模块中的一部分元件设置在扫描模块的外部，可降低扫描机构的负载，提高扫描速度。 |
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