| 一种扫描电镜中扫描透射明场像的成像装置 |
| CN202221436931.2 2022-6-10 实用新型 |
| 2022-9-6 |
| 本实用新型公开了一种扫描电镜中扫描透射明场像的成像装置，包括样品载台、转动装置、反射片、支架和二次电子探头；样品载台设置于支架顶端，用于固定待观察试样；转动装置设置于支架内，转动装置的转轴与支架连接，且垂直于支架的垂向中心线；反射片设置于转动装置上，用于将穿过待观察试样的透射电子反射至二次电子探头；二次电子探头设置于支架的侧面，用于采集反射片反射的透射电子，并将透射电子传输至成像单元成像。本实用新型使用扫描电镜自带的二次电子探头采集透射电子信号，降低了扫描电镜升级扫描透射成像功能的成本；同时，设置了可改变电子方向与位置的转动装置，使二次电子探头能够捕获足够的透射电子信号，实现明场像的采集。 |
微信公众号