| 用于微纳台阶样品的显微镜自动对焦系统及其对焦方法 |
| CN202210642022.2 2022-6-8 发明申请 |
| 2022-9-2 |
| 本发明涉及激光自动对焦技术领域，公开了一种用于微纳台阶样品的显微镜自动对焦系统及其对焦方法，包括激光器、显微物镜、CMOS相机、电机；所述激光器发出的激光束，从显微物镜半边的上方进入显微物镜内，经显微物镜聚焦投影在微纳台阶样品上，微纳台阶样品的台阶结构面反射激光束，穿过显微物镜的另外半边，被CMOS相机接收形成光斑图像；当所述光斑图像包含柱状凸起，且相邻柱状凸起底端通过线连接时，显微物镜的焦点在微纳台阶样品的台阶顶面或凹槽底面；当光斑图像中柱状凸起的方向与图像A中柱状凸起的方向一致时，焦点落在台阶顶面；当光斑图像中柱状凸起的方向与图像B中柱状凸起的方向一致时，焦点落在凹槽底面。 |
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