| 扫描电镜二次电子探测器 |
| CN202210746321.0 2022-6-28 发明申请 |
| 2022-9-2 |
| 本发明公开了一种扫描电镜二次电子探测器，所述扫描电镜二次电子探测器包括：筒体组件、栅网组件、高压筒体、导光柱、闪烁体、外壳、光电倍增镜和电源，高压筒体包括在筒体组件的轴向方向上连接的上高压筒段和下高压筒段。根据本发明的扫描电镜二次电子探测器，通过设置下高压筒段的外周壁的径向尺寸在上高压筒段至下高压筒段的方向上逐渐减小，使得高压筒体在传输高压时，最大程度避免高压放电现象的发生，从而最大程度避免高压放电现象对扫描电镜二次电子探测器的探测效率和成像效果的影响。 |
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