| 光学及扫描电子显微镜缺陷检测之灵敏度改善 |
| TW111101231 2022-1-12 发明申请 |
| 2022-9-1 |
| 本发明揭示一种用于在一半导体堆叠内之一层上检测或执行度量之特性化系统。该系统包含经组态以自包含一或多个层之一半导体堆叠获取影像资料之一成像子系统。该半导体堆叠包含沉积于该半导体堆叠之一层上具有在05至10之间之一厚度的一金属层以在该层上形成一反射表面。该系统包含一控制器。该控制器经组态以接收该基板堆叠之该层上之该反射表面之影像资料且基于自该反射表面反射之照明识别该层内之一或多个缺陷或一或多个结构。; -0510 |
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