| 通过光片显微镜分析样品的方法和装置 |
| US17680695 2022-2-25 发明申请 |
| 2022-9-1 |
| 本发明提供一种通过照明物镜用光片对试样进行照明的试样的光片显微镜检查方法及实施该方法的光片显微镜。 由样品发射的光由检测物镜成像到区域型检测器上。 检测物镜的光轴与照明物镜的光轴成不同于0°和180°的角度，并且与光片在光片平面中相交。 区域型检测器记录图像。 神经网络分析图像以确定光片平面是否位于检测物镜的焦平面中， 和/或光片平面沿着光轴位于离焦平面的哪个方向上，和/或光片平面沿着检测物镜的光轴测量离焦平面的距离是多少。 |
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