用于高性能电子显微镜的方法
 
US17633133  2020-8-10  发明申请

2022-9-1
 
  提供了用于校正包括低温EM图像的电子显微镜图像中的一个或多个图像像差的方法。 所述方法包括获得具有一个或多个已知性质的内部参考栅格样品的多个电子显微镜(EM)图像,所述多个电子显微镜图像针对多个光学条件和针对多个协调的束像偏移而获得。 该方法还可以包括,除了其它特征之外,确定像差校正函数,该像差校正函数使用核典型相关分析(KCCA)来预测成像区域中的每个点的像差。
 
仿站