| 一种扫描电镜原位检测芯片的多功能多工位样品台 |
| CN202210776466.5 2022-7-4 发明申请 |
| 2022-8-30 |
| 本发明提供一种扫描电镜原位检测芯片的多功能多工位样品台，包括样品台支架和芯片载台，所述样品台支架上设置有多个安装槽，所述芯片载台的数量为多个并分别可拆卸的装配于多个安装槽内；所述芯片载台包括载台座和装配于载台座上的载台电路板，所述载台座可拆卸的装配于安装槽内，并设置有用于贴装芯片的贴装区以及对应贴装区的观察窗。在进行操作时，可将不同类型的芯片分别贴装至多个芯片载台上，从而同时引入多个外场进行对比实验；实现单次多功能的检测，检测效率更高。 |
微信公众号