| 电极偏转同轴电子探测装置及扫描电子显微镜 |
| CN202220947254.4 2022-4-22 实用新型 |
| 2022-8-26 |
| 本实用新型公开了一种电极偏转同轴电子探测装置和扫描电子显微镜，该探测装置包括：探测器组，所述探测器组包括同心设置的呈环状的外层探测器和内层探测器；偏转电极组，所述偏转电极组包括同心设置的呈环状的外层电极板和内层电极板，所述偏转电极组位于所述探测器组的下方，所述外层电极板位于所述外层探测器的外侧，所述内层电极板位于所述内层探测器的内侧。本实用新型能够将耦合在一起的二次电子和背散射电子剥离开来，从而获得相对独立的形貌和成分信息，减少了二者之间的相互干扰。 |
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