| 基于原子力显微镜的材料表面等离子体处理方式 |
| CN202210599940.1 2022-5-29 发明申请 |
| 2022-8-23 |
| 基于原子力显微镜的材料表面等离子体处理方式，是一种获得适合显微观测材料表面的处理方式。本发明旨在改善原子力显微镜观测试样表面时微粒暴露少与自生电荷大的问题，使暴露出足够数量微粒且其表面电位下降。采用二甲苯制得原始试样，用平板硫化机获得纳米电介质的圆片试样，将试样放置好然后用氩气操作，配合10kV、37kHz正弦波的激励源，通过等离子体对试样表面处理，获得均匀的试样表面，对处理后的试样表面通过原子力显微镜进行观测。本发明适用于利用原子力显微镜观测样品时的样品表面处理。 |
微信公众号