| 一种看像用电镜真空系统及控制方法 |
| CN202210646644.2 2022-6-8 发明申请 |
| 2022-8-23 |
| 本申请实施例提供的一种看像用电镜真空系统及控制方法，属于半导体领域。该看像用电镜真空系统包括电子枪、第一镜筒、第二镜筒、样品室、分子泵、第一机械泵、第二机械泵、第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第二真空测量规管、第六阀门、真空管道。本申请通过形成一套真空系统，从而使得在使用电镜观察样品时，为观察样品提供真空环境，另外再也无需测试人员将电镜移动到真空环境，有效降低了测试人员的工作量，便于测试人员进行测试。 |
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