| 扫描电子显微镜减震结构 |
| CN202220998369.6 2022-4-24 实用新型 |
| 2022-8-23 |
| 本实用新型公开了一种扫描电子显微镜减震结构，包括多个水平减震单元，所述水平减震单元包括滚珠托板、滚珠盖板和滚珠，所述滚珠托板和所述滚珠盖板上相对应设置若干滚珠槽，若干所述滚珠夹持在所述滚珠托板和所述滚珠盖板之间并分别限位在相对应的所述滚珠槽内，所述滚珠盖板固定于扫描电子显微镜主体的底部。本实用新型提供的减震结构利用球状联结降低了电镜主体和支撑物之间的摩擦力，消弱从地面、支座等传导的机械振动在水平方向的分量，提高电镜图像质量。 |
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