| 一种超高真空原子力显微镜用真空系统 |
| CN202220781491.8 2022-4-6 实用新型 |
| 2022-8-23 |
| 本实用新型公开了一种超高真空原子力显微镜用真空系统，旨在解决现有超高真空用原子力显微镜所使用的真空系统主要采用大型腔体的设计，结构复杂，安装麻烦，成本较高，且不易与其他系统进行对接扩展的问题，包括真空腔体，所述真空腔体的底壁上安装有用于对样品进行纳米区域物理性质探测的AFM集成模块，AFM集成模块包括有对样品探测的AFM扫描探针，且真空腔体的顶部安装有用于观测AFM扫描探针工作准确位置的显微镜观测模块；所述真空腔体上设有法兰快开门、超高真空获得模块和超高真空测量模块。本实用新型尤其适用于超高真空原子力显微镜的真空系统构建，具有较高的社会使用价值和应用前景。 |
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