| 用于扫描电镜的位移台机构 |
| CN202220774147.6 2022-4-2 实用新型 |
| 2022-8-19 |
| 本实用新型公开了一种用于扫描电镜的位移台机构，位移台机构包括：工作台；负载台，所述负载台可移动地设置于所述工作台上；驱动机构和滚珠丝杠组件，所述驱动机构所输出的动力通过所述滚珠丝杠组件传动至所述负载台以控制所述负载台移动；弹性件，所述弹性件张紧连接于所述负载台与所述工作台之间。根据本实用新型的位移台机构消除了滚珠丝杠组件在反向移动过程时的空回行程，提高了负载台移动的稳定性，进一步提高了负载台移动的精度。 |
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