| 石墨烯电极静电透镜及扫描电子显微镜 |
| CN202220694228.5 2022-3-28 实用新型 |
| 2022-8-19 |
| 本实用新型公开了一种石墨烯电极静电透镜及扫描电子显微镜，石墨烯电极静电透镜包括导电衬底、至少一层石墨烯电极层、电极线和带电粒子束通道；导电衬底的上表面设置有绝缘层，石墨烯电极层设置在导电衬底的上表面，石墨烯电极层的表面覆盖有氮化硼介电层，对石墨烯电极层的表面形成绝缘；电极线设置在石墨烯电极层的上表面和覆盖于石墨烯电极层的表面的氮化硼介电层之间，电极线的引脚从石墨烯电极层的上表面向外延伸出氮化硼介电层；带电粒子束通道位于静电透镜的中心位置，从上至下贯通氮化硼介电层、石墨烯电极层和导电衬底。本实用新型提供的石墨烯电极静电透镜，能够在实现对带电粒子束聚焦和加速的效果前提下，大大减小静电透镜的体积与重量，同时易于保证高加工精度。 |
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