| 扫描电镜二次电子探测器 |
| CN202221625047.3 2022-6-28 实用新型 |
| 2022-8-19 |
| 本实用新型公开了一种扫描电镜二次电子探测器，所述扫描电镜二次电子探测器包括：壳体、电源、光电倍增管、导光柱、法兰、电连接件和导线。根据本实用新型的扫描电镜二次电子探测器，通过在壳体内限定出容纳电源、光电倍增管、导光柱和导线的容纳空间，法兰与壳体连接，电连接件穿设于壳体上，使得壳体作为扫描电镜二次电子探测器的装配基体，从而使扫描电镜二次电子探测器的整体结构紧凑、体积小，进而减少SEM在装配扫描电镜二次电子探测器时所需的装配空间，同时更易于安装在SEM上。另外，该扫描电镜二次电子探测器的结构简单，制造成本低，加工制造便利，可以有效地缩短加工制作的成本及周期，同时拆装及维护更为便捷。 |
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