| 带电粒子束装置，扫描电子显微镜和操作带电粒子束装置的方法 |
| US17177926 2021-2-17 发明申请 |
| 2022-8-18 |
| 描述了一种带电粒子束装置(100)。 该带电粒子束装置包括：第一真空区域(121)，其中布置有用于沿着光轴(A)发射带电粒子束(102)的带电粒子束发射器(105)； 第二真空区域(122)，位于第一真空区域的下游，并通过具有第一差动泵送孔(131)的第一气体分离壁(132)与第一真空区域隔开； 其中第一差动泵送孔(131)被配置为用于带电粒子束(102)的第一束限制孔； 以及第三真空区(123)，其位于第二真空区的下游，并通过具有第二差动泵送孔(133)的第二气体分离壁(134)与第二真空区隔开， 其中第二差动泵送孔(133)被配置为用于带电粒子束(102)的第二束限制孔。 进一步描述了一种扫描电子显微镜和一种操作带电粒子束装置的方法。 |
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