| 包括等离子体发生器的带电粒子束如扫描电子显微镜的装置及其方法 |
| US17662655 2022-5-9 发明申请 |
| 2022-8-18 |
| 本发明提供一种带电粒子束装置，例如电子显微镜，其包括用于选择性地清洁BSE检测器的等离子体发生器。 在各种实施例中，等离子体发生器位于样品台和具有一个或多个开口或孔的样品台之间。 等离子体发生器产生等离子体，并通过样品台的开口朝向BSE检测器的表面并将等离子体分布或耗散到BSE检测器的表面上。 用原位产生的等离子体频繁和选择性地清洁BSE检测器表面上的污染物可以防止检测器在高放大倍数下成像时性能恶化，例如丧失分辨率和对比度。 |
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