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测量相对旋转角的方法和扫描透射电子显微镜
US17669503 2022-2-11 发明申请
2022-8-18
一种测量相对旋转角的方法,包括:通过使用偏转器在样品平面上移动电子束; 通过使用偏转器使电子束相对于样品平面倾斜; 在移位和倾斜之前,获取包括散射方位角信息的第一杆图像和不包括散射方位角信息的第二杆图像; 在移位和倾斜之后,获取包括散射方位角信息的第三干图像和不包括散射方位角信息的第四干图像; 以及基于第一杆图像,第二杆图像,第三杆图像和第四杆图像获得相对旋转角。
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