| 扫描探针显微镜系统的自动着陆方法和使用该方法的扫描探针显微镜系统 |
| WONL22050064 2022-2-9 发明申请 |
| 2022-8-18 |
| 本公开涉及一种操作包括着陆过程的SPM系统的方法。 所述着陆过程包括：第一着陆阶段，其包括通过粗平移装置在第一致动距离上的第一平移，以使由SPM头保持的探针尖端从与待探测的衬底的初始分离带到第二平移； 更近端的分离由接近衬底的探针尖端的特征过渡响应定义。 在第一阶段之后，在反馈控制下，通过精细平移装置在第二致动距离上施加第二平移，以使探针尖端进入工作分离。 在施加第一(粗略)致动距离之前，使用检测器，最好是标记传感器，确定指示初始分离的初始光学距离。 所测量的初始光学距离与参考距离相关以确定偏差。 所述第一致动距离对应于所述参考距离和所述偏差。 本发明还涉及一种SPM系统和软件产品，其被设置为实现所述着陆方法。 |
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