| 一种扫描探针显微镜的无畸变扫描方法 |
| CN202210434915.8 2022-4-24 发明申请 |
| 2022-8-16 |
| 本发明提供了一种扫描探针显微镜的无畸变扫描方法，该方法依然保留传统的逐行扫描方式，通过变速扫描的方法实现漂移过程中原子行的弯曲，从而矫正扫描图像。该方法摒弃了复杂的螺旋扫描方式，控制信号更加简单，扫描方式更加多样，后期矫正也更加方便。相对于传统标定显微镜的方式，其优点为：不需要显微镜标定，不需要更换样品，只需要一次性扫描完成，后期就可以对图像去除畸变。对于不同环境，显微镜漂移速度也不同，本发明也只需要一次性扫描成像即可。 |
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