| 扫描电镜二次电子探测器 |
| CN202210746212.9 2022-6-28 发明申请 |
| 2022-8-12 |
| 本发明公开了一种扫描电镜二次电子探测器，所述扫描电镜二次电子探测器包括：筒体组件、栅网组件、导光柱、闪烁体、高压线、馈电组件、KF法兰支架、紧固件、外壳、光电倍增镜和电源。根据本发明的扫描电镜二次电子探测器，通过在馈电组件的馈电端设置馈口，馈口内具有馈电针，馈电针与高压线的另一端通过贯穿孔连接，KF法兰支架设于馈电端和筒体组件之间，实现从馈口到第一容纳空间的密封性，从而保证高压线和馈电针处在密封的空间内，进而保证扫描电镜二次电子探测器工作时，高压线和馈电针位于真空密封的环境内，有效减少高压线对电信号的干扰，使二次电子成像更加清晰。 |
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