电子显微镜
 
KR1020210015849  2021-2-4  发明申请

2022-8-11
 
  本发明涉及一种电子显微镜,根据本发明的一个方面,一种发射电子束的电子枪; 衍射构件,其包括:边缘部分,从电子枪发射的电子束在该边缘部分中被照射,并且衍射被照射的电子束; 一个或多个透镜,其中衍射元件中的衍射电子束被照射以放大电子束通过样品产生的图像; 并且可以提供一种电子显微镜,其包括用于检测所述一个或多个透镜中的放大图像的检测器。
 
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