产业集群信息网

产业专利数据

多着陆能量扫描电子显微镜系统和方法

US17630455 2020-7-18 发明申请

2022-8-11

公开了检查系统和方法。一种检查系统可以包括被配置为提供第一着陆能量束的第一能量源和被配置为提供第二着陆能量束的第二能量源。该检查系统还可以包括波束控制器，该波束控制器被配置为选择性地将第一和第二着陆能量波束中的一个朝向同一视场传送，以及根据检查系统的操作模式在第一和第二着陆能量束的传送之间切换。