| 扫描电镜原位拉伸实验的位移补偿方法、装置及扫描电镜 |
| CN202210652454.1 2022-6-7 发明申请 |
| 2022-8-5 |
| 本发明公开一种扫描电镜原位拉伸实验的位移补偿方法，在实验过程中，实验样品被拉伸并产生形变，使实验样品朝向形变相反的方向运动，运动速度等于实验样品的形变速度。本发明还提供一种扫描电镜原位拉伸实验的位移补偿装置，包括底座、样品台和驱动组件，工作时，将底座固定于扫描电镜上，将实验样品和拉伸设备固定于样品台上，利用驱动组件带动样品台运动，从而使样品台相对于底座滑动，进而使实验样品能够朝向拉伸形变相反的方向运动，从而避免扫描图像的整体偏移现象，提高扫描成像质量。本发明还提供一种包含上述扫描电镜原位拉伸实验的位移补偿装置的扫描电镜，提高扫描电镜的适应性。 |
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