| 气相色谱仪 |
| JP2018537936 2016-9-8 发明申请 |
| 2019-7-4 |
| 主板201的主控制部20，控制板21的各子控制部214通过串行通信连接。 控制部分214的每个子控制部分由控制电路213控制载气的流速。 因此，主控制部分201执行处理，每个子控制部分214只能执行串行处理。 结果，可以通过执行处理来减少主控制单元201，在增加基板21的流量控制的数量的情况下，可以更多地抑制主控制单元201在处理中的吞吐量。 另外，可以延长信号线40之间的主控制部201和各子控制部214。 因此，可以延长主板20和各个流量控制板21之间的距离。 |
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