| 带有椭球形反射镜的样品台及扫描电子显微镜 |
| CN202220577980.1 2022-3-16 实用新型 |
| 2022-7-29 |
| 本实用新型公开了一种带有椭球形反射镜的样品台及具有该样品台的扫描电子显微镜，该样品台包括样品台本体和椭球形反射镜，椭球形反射镜的底部沿样品台本体的四周与其连接，椭球形反射镜的下侧焦点位于样品台本体的承载面上。本实用新型提供的带有椭球形反射镜的样品台及具有该样品台的扫描电子显微镜，利用椭球形反射镜所具有的从其中一个焦点发射的光或电子会在另一焦点会聚的特性，对超过同轴电子探测器探测尺寸的信号电子进行会聚，使其向同轴电子探测器探测尺寸内反射，提高同轴电子探测器的探测效率，并且可以代替在样品台添加反向电场的方案。 |
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