| 压力控制阀和超临界流体色谱 |
| JP2018125766 2018-7-2 发明授权 |
| 2022-2-8 |
| 一种压力控制阀，包括：压力控制空间，该压力控制空间设置在上游侧流道和下游侧流道之间； 阀机构，其具有阀元件，该阀元件被驱动到使上游侧流路和下游侧流路彼此连通的压力控制空间中的间隙量改变的方向； 测量上游侧流路内的压力的压力传感器82； 具有压电元件72和步进电机70的致动器； 步进电机控制部，使步进电机旋转，以使施加到压电元件的电压落在规定的范围内； 以及磨损检测部，在使在上游侧流路中流动的流体以规定流量流动的规定条件下，基于步进电机的旋转位置来检测阀机构的磨损， 并且压力传感器82的测量值是规定值。 |
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