| 一种超高真空原子力显微镜送样设备 |
| CN202210480992.7 2022-5-5 发明申请 |
| 2022-7-26 |
| 本发明公开了一种超高真空原子力显微镜送样设备，包括原子力显微镜主体、送样机构、传输机构、出样机构、驱动机构和抽真空机构，送样机构用于将样品输送至传输机构，传输机构用于将样品输送至出样机构，出样机构将样品输出至原子力显微镜主体的内腔，驱动机构用于驱动送样机构和传输机构运转，原子力显微镜主体用于对样品进行测量，以将样品中的合格样品和不合格样品进行识别，并控制合格样品和合格样品从出样机构的不同区域滑出，原子力显微镜主体为密封腔体结构，送样机构、传送机构和出样机构均设置于原子力显微镜主体内，抽真空机构与原子力显微镜主体相连通，且能将主体内抽取为预设真空范围值。上述结构可有效减少测量时间，提高测量效率。 |
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