| 样品仓的支撑组件以及扫描电镜 |
| CN202220316379.7 2022-2-16 实用新型 |
| 2022-7-26 |
| 本实用新型公开了一种扫描电镜的样品仓的支撑组件以及扫描电镜，所述样品仓包括：台架、支撑台以及样品仓，所述支撑台设置在所述台架上，所述样品仓设置在所述支撑台上；第一阻尼件，所述第一阻尼件设置在所述台架与所述支撑台之间；第二阻尼件，所述第二阻尼件设置在所述支撑台与所述样品仓之间。根据本申请实施例的扫描电镜的样品仓，通过设置第一阻尼件和第二阻尼件，可以实现对高频振动的有效隔离，以提高避振效果，可以降低环境振动对扫描电镜的影响，减少噪音干扰，改善纳米级分辨率图像的毛刺变形，以提高扫描电镜的测量精度。 |
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