扫描电镜的样品平台及扫描电镜
 
CN202220555729.5  2022-3-11  实用新型

2022-7-26
 
  本实用新型公开了一种扫描电镜的样品平台及扫描电镜,样品平台包括:基座;旋转驱动组件,旋转驱动组件包括:蜗轮,蜗轮可枢转地设在基座上;蜗杆,蜗杆啮合蜗轮以驱使蜗轮转动;驱动件,驱动件连接蜗杆以驱使蜗杆转动;样品承载台,样品承载台用于沿周向放置多个样品,样品承载台连接蜗轮以在蜗轮的带动下旋转。本实用新型通过蜗轮、蜗杆与驱动件的配合使样品承载台旋转,从而使不同的样品移动到电子束下进行观测,提高空间利用率,同时蜗轮、蜗杆的配合使整体结构强度高,从而提示了负载能力。
 
仿站